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潔凈厭氧高溫氣氛爐

產品特點:潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
最高工作溫度360℃和500℃。
采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性,采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節。

更新時間:2023-05-18

產品型號:DTN430C/630C/450C/650C

廠商性質:代理商

生產地址:

產品詳情
潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
  • 最高工作溫度360℃和500℃。

  • 采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。

  • 高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低。

  • 磁密封保持高氣密性,采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。

  • 可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節。

  • 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。

安全性
  • 門檢測開關

  • 溫度過升防止器

  • 氧濃度異常安全裝置

  • 氮氣壓力檢測

  • 氮氣流量檢測

  • 冷卻水流量檢測

  • 漏水傳感器

  • 過電流漏電漏電保護開關

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